| 項目名稱 | 寧波冠石半導體有限公司冠石科技光掩膜板制造項目(一期)安全驗收評價報告 | |
| 機構名稱 | 浙江圣泰安全技術有限公司 | |
| 被評價單位 | 寧波冠石半導體有限公司 | |
| 簡介 | 為滿足市場及企業自身發展需求,寧波冠石半導體有限公司總投資193149.63萬元于寧波前灣新區匯軫路58號建設冠石科技光掩膜版制造項目,項目建設一期生產廠房、主門衛、次門衛、垃圾房、甲類倉庫、液氮罐區、柴油罐區、生產水池、消防水池及泵房、餐廳等,通過購置電子束光刻機、激光束光刻機、顯影機、蝕刻機、光阻涂布機、測量儀等設備,可實現年產12450片6英寸光掩膜版的生產能力。 項目生產的光掩膜版分為二元鉻膜光掩膜版(傳統型)和相位移型光掩膜版兩大類。其中,二元鉻膜光掩膜版(傳統型)屬于低階產品,工藝過程僅需一次曝光、顯影、蝕刻,無需光阻涂布。冠石科技光掩膜版制造項目(一期Ⅰ)因光阻涂布機及其配套的位置精度測量儀、相位測量儀、烘烤機等設備尚未安裝,故項目第一階段只能實現年產5040片6英寸光掩膜版的生產能力。
|
|
| 項目組長 | 王江偉 | |
| 技術負責人 | 陳業鴻 | |
| 過程控制負責人 | 王琴 | |
| 評價報告編制人 | 王江偉、倪銀吉 | |
| 報告審核人 | 盛瑋瑋 | |
| 參與評價工作 | 安全評價師 | 王江偉、倪銀吉、戴江、潘翠珍、許可水、劉仕品、盛瑋瑋、陳業鴻、王琴 |
| 注冊安全工程師 | 王江偉、倪銀吉、潘翠珍、許可水、盛瑋瑋、陳業鴻 | |
| 技術專家 | ||
| 現場開展安全評價工作 | 人員 | 王江偉、倪銀吉 |
| 時間 | 2024.8.9 | |
| 主要任務 | 報告編制,收集資料,現場檢查 | |
| 報告提交時間 | 2025.12.30 | |